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TS200-Manual-Probe-System-DS



MPI        TS200 | 200 mm Manual Probe System

For accurate and reliable DC/CV, RF and High Power measurements


FEATURES / BENEFITS


img1单机多应用设计

       适用于多种晶圆量测应用,如射频和毫米

波、组件特性描述和建模、晶圆级可靠性(WLR)、高功率 (HP)、失效分析 (FA)、集成电路工程和微型机电系统 (MEMS)

工效学设计

       方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计

       坚固且可乘载多达 10 DC 4 RF 微定位器的工作台

       三段式工作台快升把手设计(contact - separation

- loading),实现高重现性

弹性选配与升级性

       另有多种晶圆载物台可做升级,亦有諸多配

件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、电磁屏蔽箱等可搭载,以完全支援您的应用需求







SPECIFICATIONS

载物台基座 XY (标准型)


细调分辨率        < 1.0 µm (0.04 mils) @ 500 µm/rev

总工作行程        240 x 315 mm (9.4 x 12.4 in)

细调行程        25 x 25 mm 千分尺调节

平坦度        < 10 µm

T 轴工作行程        360°


T 轴细调分辨率        7.5 x 10-3 gradient

T 轴细调行程        ± 5.0°

基座机构        快速释放拖移气浮载台



移动行程        25 x 25 mm (1 x 1 in)

手动显微镜滑台 (气动)


显微镜升        手动调节,可向后倾仰

分辨        N/A

滑台机        气动控制,真空吸附固定





移动行程        50 x 50 mm (2 x 2 in) or 80 x 80 mm (3.15 x 3.15 in)

手动显微镜滑台 (线性)


显微镜升        手动调节,可向后倾仰或做垂直升(视显微镜种类而定)

分辨        < 5 µm (0.2 mils)

滑台机        XY 独立调控,螺丝旋钮锁固



PROBE PLATEN

規格


晶圆载物台与工作台间距        Min. 10 mm

材质        镀镍钢

尺寸        如下图所示

最大 MicroPositioner 承载数量        10 DC and 4 RF

快升把手        三段 -  (0),  (300 µm), 和架 (3 mm)


快升把手分离重现性精度        < 1 µm (0.04 mils) by „automated“ control

Z 轴高度调节行程        Max. 20 mm (0.8 in)

RF 微定位器架设方式        磁吸,附导引条

DC 微定位器架设方式        磁吸


105°

330

300 °C 热绝缘        视晶圆载物台种类而定



img2img3














Universal probe platen design for up to 10 DC MicroPositioners




NON-THERMAL CHUCKS

标准晶圆载物台


材质        不锈钢

接头        Coax BNC (f)

直径        210 mm

表面特征        环状扩散真空吸槽设计

真空吸槽范围直径        3, 27, 45, 69, 93, 117, 141, 164, 194 mm


适用待测物尺寸        单一待测物最小尺寸4 x 4 mm 或晶圆50 mm (2 in)  200 mm (8 in)*

真空控制模式        多区域控制,中心区域吸槽范围直径 3 mm

表面平坦度        ≤± 5 µm

刚性        < 15 µm / 10 N @edge


*Single DUT testing requires higher vacuum conditions dependent upon testing application.

接头        Kelvin Triax (f)

RF 射频晶圆载物台


材质        镀镍铝

直径        210 mm,附两个 AUX 校准辅助载物台

表面特征        中心区域真空吸孔设计, 孔径 0.5 mm

真空吸孔范围直径        3, 27, 45, 69, 93, 117, 141, 164, 194 mm


适用待测物尺寸        单一待测物最小尺寸4 x 4 mm 或晶圆50 mm (2 in)  200 mm (8 in)*

真空控制模式        手动切换 - 中心(4 ), 100, 150, 200 mm (4, 6, 8 in)

表面平坦度        ≤± 5 µm

刚性        < 15 µm / 10 N @edge


*Single DUT testing requires higher vacuum conditions dependent upon testing application.

接头 1        10 kV Coaxial (Banana or SHV)

HP 高功率晶圆载物台


直径        210 mm,附两个 AUX 校准辅助载物台

接头 2        Kelvin Triax (f), 3 kV or 10 kV Coaxial

材质        镀金铝

表面特征        中心区域真空吸孔设计, 孔径 0.5 mm


真空控制模式        手动切换 - 中心(4 ), 100, 150, 200 mm (4, 6, 8 in)

真空吸孔范围直径        3, 27, 45, 69, 93, 117, 141, 164, 194 mm

适用待测物尺寸        单一待测物最小尺寸4 x 4 mm 或晶圆50 mm (2 in)  200 mm (8 in)*

表面平坦度        ≤± 5 µm


刚性        < 15 µm / 10 N @edge


*Single DUT testing requires higher vacuum conditions dependent upon testing application.

数量        两个

AUX 校准辅助载物台


适用基板尺寸 (W x L)        Max. 25 x 25 mm (1 x 1 in)

位置        主晶圆载物台前方两侧

材质        陶瓷,射频吸收材料,确保精确校准

表面平坦度        ≤± 5 µm


真空控制开关        独立于晶圆载物台






操作电压        符合 EC 61010 认证,可应用户需求提供高压测试认证

电气规格 (Coax)


载物台表面与接地线间最大承载电压




500 V DC



绝缘电阻        > 2 



电气规格 (Triax)

晶圆载物台绝缘电阻        > 100         > 30 

标准晶圆载物台 (10 V)        高功率晶圆载物台 (10 V)

裸铜导体到内皮信号层        > 100         > 30 

内皮信号层到外皮屏蔽层        > 10         > 500 


裸铜导体到外皮屏蔽层        > 50         > 100 



THERMAL CHUCKS


MPI•ERS 综合技术规格


35 °C to 150 °C

20 °C to 200 °C

20 °C to 200 °C

20 °C to 300 °C

接头

Coax BNC (f)

Coax BNC (f)

Kelvin Triax (f)

Single Triax (f)

调温方式

空气冷却 /

电阻加热器

空气冷却 /

电阻加热器

空气冷却 /

电阻加热器

空气冷却 /

电阻加热器

冷却剂

Air (用户端自备)

Air (用户端自备)

Air (用户端自备)

Air (用户端自备)

最小调温单位

0.1 °C

0.1 °C

0.1 °C

0.1 °C

温度显示器最小显示单位

0.1 °C

0.01 °C

0.01 °C

0.01 °C

外接式触控调温显示器

N/A

Yes

Yes

Yes

温度稳定度

±0.5 °C

±0.08 °C

±0.08 °C

±0.08 °C

溫度精度

±1 °C

0.1 °C

0.1 °C

0.1 °C

控制方式

DC/PID

低噪声 DC/PID

低噪声 DC/PID

低噪声 DC/PID

界面

RS232C

RS232C

RS232C

RS232C

载物台表面镀层

温度传感器

Pt100 1/3DIN

Pt100 1/3DIN,

4 线式量测

Pt100 1/3DIN,

4 线式量测

Pt100 1/3DIN,

4 线式量测

温度均匀度        < ±1 °C

< ±0.5 °C

< ±0.5 °C

< ±0.5 °C at 20 to 200 °C

< ±0.5 °C at > 200 °C

表面平坦度与底座平行度        < ±15 µm

< ±10 µm

< ±10 µm

< ±10 µm

 / 降温速度*        35 to 150 °C < 10 min

20 to 200 °C < 15 min

20 to 200 °C < 20 min

20 to 300 °C < 30 min

150 to 35 °C < 15 min

200 to 20 °C < 20 min

200 to 20 °C < 25 min

300 to 20 °C < 30 min


绝缘电阻 - Coax BNC (f)

> 0.5 T Ω at 25 °C

> 10 T Ω at 25 °C

> 300 G Ω at 200 °C

N/A

N/A

漏电值 @ 10 V Kelvin Triax (f)

N/A

N/A

< 15 fA at 25 °C

< 30 fA at 200 °C

< 15 fA at 25 °C

< 50 fA at 300 °C

电容量

< 750 pF

< 900 pF

N/A

N/A

载物台表面与接地线间        500 V DC        500 V DC        500 V DC        500 V DC

最大承载电压



*All data are relevant for chucks in ECO mode.




HIGH POWER THERMAL CHUCKS

MPI•ERS 综合技术规格

20 °C to 200 °C        20 °C to 300 °C




外接式触控调温显示器        Yes        Yes

温度稳定度        ±0.08 °C        ±0.08 °C

溫度精度        0.1 °C        0.1 °C

控制方式        低噪声 DC/PID        低噪声 DC/PID

界面        RS232C        RS232C

温度传感器        Pt100 1/3DIN, 4 线式量测        Pt100 1/3DIN, 4 线式量测

温度均匀度        < ± 0.5°C

< ±0.5°C at < 200°C

< ±1.0°C at > 200°C

表面平坦度与底座平行度        < ±10 µm        < ±10 µm

漏电值 @ 10 V Kelvin Triax (f)

25°C        < 15 fA        < 15 fA

200°C        < 30 fA        < 30 fA

300°C        --        < 50 fA

漏电值 @ 3000 V Kelvin Triax (f)

25°C

< 5 pA

< 5 pA

200°C

< 10 pA

< 10 pA

300°C

--

< 15 pA

漏电值 @ 10 kV Coax UHV/SHV (f)

25°C

< 6 nA

< 6 nA

200°C

< 6 nA

< 6 nA

300°C

--

< 6 nA



*All data are relevant for chucks in ECO mode.


温度控制器尺寸和电气 / 空气消耗量

控制器类型

W x D x H (mm)

重量 (kg)

耗电量 (VA)

最大气流量* (l/min)

35 to 150 °C

300 x 265 x 135

10

500

200

20 to 200 °C

300 x 360 x 135

12

700

200

20 to 300 °C

300 x 360 x 135

12

700

200

*All data are relevant for chucks in ECO mode.




250


AC3 150 mm +20°C to +200°C



350


AC3 150 mm +20°C to +300°C



temperature [°C]

200


150


100


50


300


temperature [°C]

250


200


150


100


50



0

0        5        10 15 20 25 30 35 40 45

time [min]


0

0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60

time [min]



FACILITY REQUIREMENTS

温控载物台电气需求

电气接线        100 to 240 VAC auto switch

电气需求        僅適用於升温载物台


压缩空气

电气频率        50 Hz / 60 Hz

操作压力        6.0 bar (0.6 MPa, 87 psi) 定额流量

CDA 露点        ≤ 0 °C


电气        100-240 V AC 50/60 Hz (仅光学配件*需要电力)

探针台系统


压缩空气        6.0 bar

真空        -0.5 bar (单一待测物) / -0.3 bar (晶圆)

*e.g. microscope illumination, CCD cameras, monitors.


REGULATORY COMPLIANCE

       CE 认证。符合 TÜV 验证 EN 61010 标准和 ISO 12100


WARRANTY

       保固*12 个月

       延长服务合同:更多需求讯息请向 MPI 洽询

*See MPI Corporation‘s Terms and Conditions of Sale for more details.

img4


尺寸* (W x D x H)        690 x 585 x 650 mm (27.2 x 23.0 x 25.6 in)

TS200 尺寸規格

重量        ~88 kg (194 lb.)

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650

80

585

655

*Station accessories, such as diferent microscopes, cameras, or laser cutters, may change the total height.

















235

防震桌尺寸規格*

标准款        进阶款

避震器        气垫式避震器                自动调整水平气垫式避震键盘 / 鼠标托盘                

img6img7前保护杆        

脚轮        

控制器 / 计算机架        桌子下方,共两层


选配        屏幕架与仪器架

重量        Approx. 210 kg ( 463 lb.)        Approx. 210 kg ( 463 lb.)

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STD 835

ADV 830

5

5

750

800

800


















*Vibration Isolation Table can be selected optionally..




尺寸* (W x D x H)        690 x 585 x 510 mm (27.2 x 23 x 20.1 in)

TS200-HP 尺寸規格

重量        ~88 kg (194 lb.)

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510*

585

650

*Station accessories, such as diferent microscopes, cameras, or laser cutters, may change the total height.















尺寸 (W x D x H)        1100 x 800 x 1725 mm (43.3 x 31.5 x 67.9 in)

235

电磁屏蔽箱尺寸規格

重量        ~230 kg (507 lb.)

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1000

1100





















725

*Vibration Isolation Table can be selected optionally.

1700







2040




Direct contact:

Asia region:                ast-asia@mpi-corporation.com EMEA region:        ast-europe@mpi-corporation.com America region: ast-americas@mpi-corporation.com

MPI global presence: for your local support, please fnd the right contact here:

www.mpi-corporation.com/ast/support/local-support-worldwide

MPI Global Presence


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